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1、分析元素范围：S-U中的元素
2、检测成分范围：1ppm-99.99%
3、最低检测厚度：0.003um
4、检测厚度上限，30 - 50um（视材料而定）
5、检测镀层层数：6层（视材料而定）
6、测量时间 ：30-150s ( 系统自动调整 )
7、最佳分辨率：145±5eV
8、准直器：Φ0.5mm、Φ1mm、Φ2mm、Φ4mm自动切换
9、滤光片：5种滤光片自动切换
10、CCD观察：260万像素高清CCD
11、样品微动范围：XY15mm
12、仪器尺寸：680(W)x400(D)x390(H)mm
13、样品腔尺寸：300*360*100mm；
14、输入电源：AC220V～240V，50/60Hz
15、额定功率：350W
16、重量：约45Kg
17、工作环境温度：温度15—30℃
18、工作环境相对湿度：≤85%（不结露）
19、稳定性:多次测量重复性误差小于0.1%
厂家联系人：13751019504胡经理
